أبلغ هنري إيدن سانت كلير ديفيل وفريدريش وولر أولاً عن توليف نيتريد السيليكون في عام 1857. أبلغوا عن منتج أطلقوا عليه اسم نيتريد السيليكون ، لكنهم فشلوا في اكتشاف تكوينه الكيميائي. في عام 1879 ، قام بول شويتزنبرغر بخلط السيليكون مع البطانة (معجون يمكن استخدامه كبطانة بوتقة ، تم الحصول عليها عن طريق خلط الفحم أو الفحم أو فحم الكوك مع الطين) وتسخينه في فرن الصهر ، وأبلغته كمركب مع تكوين SI3N4. في عام 1910 ، قام لودفيج فايس وتيودور إنجلهاردت بتسخين السيليكون في النيتروجين النقي للحصول على SI3N4. في عام 1925 ، استخدم Friederich و Sittig تخفيضًا حراريًا لتسخين ثاني أكسيد السيليكون والكربون إلى {8}} في جو النيتروجين لتوليف نيتريد السيليكون.
لم يتم أخذ نيتريد السيليكون على محمل الجد ودرس لعقود حتى ظهرت التطبيقات التجارية لنيتريد السيليكون. من عام 1948 إلى عام 1952 ، سجلت شركة Acheson's Diamond Company بالقرب من Niagara Falls ، نيويورك ، العديد من براءات الاختراع لتصنيع واستخدام نيتريد السيليكون. في عام 1958 ، تم استخدام نيتريد السيليكون الذي تنتجه Union Carbide لصنع الأنابيب الحرارية ، وفوهات الصواريخ ، والكاسبات لذوبان المعادن. بدأت الأبحاث حول نيتريد السيليكون في المملكة المتحدة في عام 1953 بهدف صنع أجزاء عالية الحرارة لتوربينات الغاز. أدى ذلك إلى تطوير نيتريد السيليكون المستعبدين ونيتريد السيليكون المضغوط. في عام 1971 ، وقعت وكالة مشاريع الأبحاث المتقدمة في الدفاع بموجب وزارة الدفاع الأمريكية عقدًا بقيمة 17 مليون دولار مع فورد وويستنجهاوس لتطوير توربينات غازية للسيراميك.
على الرغم من أن خصائص نيتريد السيليكون معروفة منذ فترة طويلة ، إلا أنه لم يتم اكتشاف نيتريد السيليكون (حوالي 2 × 5µm) الذي يوجد بشكل طبيعي على الأرض حتى التسعينيات من القرن الماضي. هذا النوع من خام نيتريد السيليكون الموجود في الطبيعة يسمى "Nierite" تكريما لألفريد أوتو كارل نير ، وهو رائد في أبحاث الطيف الكتلي. ومع ذلك ، هناك أدلة على أن هذا النوع من خام نيتريد السيليكون قد يكون قد تم العثور عليه في النيازك في أذربيجان ، الاتحاد السوفيتي السابق ، في وقت سابق. تم العثور على النيازك التي تحتوي على معادن نيتريد السيليكون في مقاطعة غيتشو ، الصين. بالإضافة إلى الموجود في النيازك على الأرض ، يتم توزيع نيتريد السيليكون أيضًا في الغبار الكوني في الفضاء الخارجي.
